​三豐三次元輪廓儀（3D 輪廓儀）是一種高精度測量儀器，主（zhǔ）要用於檢測物體表（biǎo）麵的微觀和宏觀輪廓形態、粗糙度、台（tái）階高度、曲率等三維幾何參數，廣泛應用於精密製造（zào）、半導（dǎo）體、光學、汽車（chē）零部件等領（lǐng）域。其核心原理是通過光學或接觸式傳感器掃描樣品表麵，將采集到的二維數據重（chóng）構為三維形貌，從而實現對表（biǎo）麵特征（zhēng）的定量分析。
根據（jù）測量方式的不同，常見類型包括：
1. 光學非接觸式輪廓（kuò）儀
利用光的反射、幹涉或聚焦特（tè）性實現測量，無需接觸樣品，適合柔軟、易損或高精度表麵（如半導體晶圓、光學鏡（jìng）片）。
白光幹涉輪廓（kuò）儀：通過白光幹涉條紋分析表麵高度，精度可達納米級，測量範（fàn）圍較大（微米到毫米級）。
激光共聚焦輪廓儀：激光聚焦於樣品表麵，通過掃描收集反射光強度，生成三維（wéi）圖像，適合高分辨率測量（亞微米級）。
聚焦探測輪（lún）廓儀：通過檢測光斑聚焦位置變化計算高度，速（sù）度快，適合生產線在線檢（jiǎn）測。
2. 接觸式輪廓儀
依靠探針（如金剛（gāng）石針尖）與（yǔ）樣品表麵（miàn）接觸（chù），通過機械掃（sǎo）描記錄（lù）針尖位移，精度可達（dá）納米級（jí），但可能劃傷樣品，適合硬質、耐磨表麵（如金（jīn）屬零件（jiàn）、模具）。
優勢（shì）：不受（shòu）表（biǎo）麵光學特性影響（如深色、粗（cū）糙表麵）。
劣勢：測量速度較慢，對軟（ruǎn）質材料不友好。